Monitoringsysteme Halbleiter

LIGHTHOUSE REMOTE 1104 (ab 0,1µm / 1,0cfm)

Laserpartikelsensor für luftgetragene Partikel
Lichtquelle: langlebige Laserdiode
(Ausgang: RS485-Modbus, CEMS oder 4-20mA)
2 oder 4 Partikelgrößenkanäle bei 1,0cfm (28,3 l / min)
Edelstahlgehäuse, Displayanzeige

LIGHTHOUSE REMOTE 3100 (ab 0,3µm / 1,0cfm)

Laserpartikelsensor für luftgetragene Partikel
(Ausgang: RS485, CEMS oder 4-20mA)
2 oder 4 Partikelgrößenkanäle bei 1,0cfm (28,3 l / min)
robuster Partikelsensor, kritische Düse Durchflusskontrolle

Messtellenumschalter

bis zu 32 Eingänge zur semikontinuierlichen Reinraumkontrolle. Anschluß
an die Partikelzähler
SOLAIR 3100/5100/1100

Met-WIN: Das Reinraum-Monitoringsystem für alle Parameter

Automatisches Datenerfassungs- und Visualisierungssystem zur Kontrolle von Fertigungsbereichen in Reinräumen.
Netzwerkfähigkeit.