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Monitoringsysteme Halbleiter

Laserpartikelsensor für luftgetragene Partikel
Lichtquelle: langlebige Laserdiode
(Ausgang: RS485-Modbus, CEMS)
2 oder 4 Partikelgrößenkanäle bei 1,0cfm (28,3 l / min)
Edelstahlgehäuse, Displayanzeige

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Multiplexersystem zur Überwachung von bis zu 32 Meßstellen zur semikontinuierlichen Reinraumkontrolle. Inkl. Seitenkanalverdichter zum ständigen Probenlufttransport in allen Schläuchen.

Anschluß an die LIGHTHOUSE Partikelzähler SOLAIR 3100/5100/1100

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Das Reinraum-Monitoringsystem Met-WIN dient zur Erfassung, Überwachung und Auswertung der Konzentration von luftgetragenen Partikeln sowie der Erfassung und Auswertung von Klimaparametern in Reinräumen (Sterilräumen).

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